Profileur professionnel de surface au stylet
Un profileur professionnel de surface au stylet est un instrument de mesure de haute précision conçu pour une analyse précise de la rugosité et du profil des composants industriels. Le profileur de surface professionnel du stylet utilise un capteur diamant pour tracer les variations de micro-surface avec une résolution exceptionnelle, Conversion de la texture physique de la surface en données numériques précises. Le profileur professionnel de surface au stylet est idéal pour les applications nécessitant une évaluation stricte de la qualité de surface et une précision de mesure répétable dans les environnements de fabrication modernes.
- Mesure: Technologie de profilage de sonde
- Sonde capteur: Capteur à faible inertie (LIS3)
- Pression de la sonde: Utilisation du capteur LIS3: 1 à 15 mg
- Vue d’exemple: Grossissement sélectionnable, FOV de 1 à 4 mm
Description du produit
Le Professional Stylus Surface Profiler intègre une technologie de mesure avancée à une plateforme stable et conviviale, Fourniture de caractérisations précises de surface pour des laboratoires et environnements de production modernes. Il offre une excellente précision, Répétabilité fiable, et un fonctionnement efficace, ce qui le rend adapté à la fois à la recherche et aux applications de contrôle qualité industrielle.
Conçu pour l’analyse de surface haute résolution, Ce système supporte la rugosité à l’échelle nanométrique, Hauteur de marche, et la mesure de topographie 3D. Il est largement utilisé en microélectronique, Semi-conducteurs, Fabrication d’affichages, Énergie solaire, Dispositifs médicaux, et la recherche avancée sur les matériaux, aider les utilisateurs à obtenir un contrôle supérieur des procédés à partir de R&D à l’inspection finale.
Profileur de surface professionnel au stylet – Hauteur de pas au niveau nanométrique & Mesure de la rugosité de surface
Le profileur de surface professionnel du stylet est un système de mesure de contact à haute précision conçu pour une analyse précise de la hauteur de marche, Rugeose de surface, et topographie de surface 3D. Utilisation d’un stylet diamant qui suit doucement la surface de l’échantillon, Il capture de fines variations de surface avec une résolution et une stabilité exceptionnelles. Cela garantit des résultats de mesure hautement fiables et reproductibles pour des applications industrielles et laboratoires exigeantes.
Comment ça fonctionne
Le système fonctionne selon une méthode de mesure de type contact. Au fur et à mesure que le stylet se déplace sur la surface, son déplacement vertical reflète les contours de surface. Ce mouvement est capté comme un signal électrique via un pont de mesure, générant une sortie modulée en amplitude proportionnelle au déplacement vertical. Le signal est ensuite amplifié, traité par rectification sensible à la phase, et filtré pour éliminer le bruit et les ondulations. Cela garantit que la sortie finale est un signal propre et stable, Fournir des mesures précises de hauteur et de rugosité des pas, sans interférences extérieures ni ondulations.
Applications clés
- Mérologie des plaquettes semi-conductrices: Mesure et analyse précises des plaquettes semi-conductrices afin d’assurer une fabrication de haute qualité.
- MEMS et microstructures: Profilage précis des MEMS (Systèmes micro-électromécaniques) et des microstructures pour des mesures détaillées de surface.
- Film mince et épaisseur du revêtement: Évaluation de l’épaisseur et de l’uniformité des films fins et des revêtements, Critique pour divers procédés de fabrication.
- Profilage de surface de cellules solaires: Mesures de surface précises pour les cellules solaires, Optimisation des performances et de la qualité de fabrication.
- Optique de précision et dispositifs médicaux: Mesure de l’optique de précision et des dispositifs médicaux afin de maintenir des normes élevées de qualité et de performance.
Caractéristiques clés
- Stable Performance: Assure un fonctionnement constant grâce à une transmission rapide, Étalonnage automatique, et des mesures précises.
- Conception révolutionnaire des bureaux: Atteint un équilibre entre haute performance, Facilité d’utilisation, et la rentabilité dans un dispositif compact de travail.
- Compact & Conception fiable: Une configuration matérielle optimisée garantit une grande précision des tests, Stabilité, et efficacité.
- Matériaux supérieurs & Durabilité: Fabriqué avec des matériaux de haute qualité pour garantir la durabilité, Longue durée de service, et performance efficace.
Caractéristiques de l’équipement
- Performance inégalée: Reproductibilité de hauteur de pas inférieure à 4A, avec des capacités de balayage améliorées.
- Conception à arche unique: Assure une stabilité de rupture, Minimisation des interférences du bruit ambiant, et permettant une large portée verticale avec balayage à faible force.
- Électronique intelligente améliorée: Réduit le bruit et améliore la précision des mesures, Capable de mesurer des hauteurs de pas inférieures à 10 nm.
- Configuration matérielle optimisée: Réduit le temps d’acquisition des données de 40 %, Amélioration de l’efficacité de mesure.
- Logiciel synchrone Vision64 64 bits: Accélère le traitement des données, augmentation de la vitesse d’analyse des données de 10 fois.
- Interface utilisateur intuitive: Le logiciel Vision64 propose une simplification, Interface conviviale pour une configuration et une analyse plus simples.
- Système automatique d’alignement des pointes: Simplifie les changements de sonde avec un assemblage de sonde auto-alignant, Réduction des risques pendant la transition.
- Large gamme de modèles de sondes: Propose différentes tailles et formes de sondes, Garantir la compatibilité avec presque toutes les applications.
- Conception à capteur unique: Fournit des mesures de faible force avec une large portée de balayage sur un seul plan.
- Tests à haut débit: Assure la rapidité, Tests multi-échantillons pour des mesures précises de film mince avec une répétabilité supérieure.
Paramètres techniques
| Technologie de mesure | Technologie de profilage de sonde |
| Fonction de mesure | Mesure du profil de surface 2D |
| Mesure 3D optionnelle | |
| Vue d’exemple | Grossissement sélectionnable, FOV de 1 à 4 mm |
| Sonde capteur | Capteur à faible inertie (LIS3) |
| Pression de la sonde | Utilisation du capteur LIS3: 1 à 15 mg |
| Force faible (Optionnel) | Utilisation du capteur N-Lite à faible force: 0.03 à 15 mg |
| Options de sonde | Plage sélectionnable par rayon de courbure de la sonde: 50 nm à 25 μm; |
| Rapport hauteur/diamètre (HAR) Conseils: 10μm*2μm et 200μm*20μm; | |
| Des embouts personnalisés sont disponibles sur demande. | |
| Exemple d’étape X/Y | Traduction du Manuel X-Y: 100 mm (4 pouces) |
| Traduction motorisée X-Y: 150mm (6 pouces) | |
| Exemple de scène rotative | Manuel, Rotation de 360°; |
| Motorisé: Rotation de 360°; | |
| Système informatique | Processeur de ligne multicœur 64 bits, Windows* 7.0; Écran plat optionnel de 23 pouces |
| Logiciels | Logiciel d’exploitation et d’analyse Vision64; |
| Logiciel de mesure des contraintes: Déviation du porte-à-faux; | |
| Logiciels de suture: Logiciels d’imagerie 3D | |
| Dispositif d’atténuation des vibrations | Amortissement des amortisseurs disponible |
| Plage de longueur de balayage | 55mm (2 pouces) |
| Points de données par balayage | Jusqu’à 120,000 Points de données |
| Épaisseur maximale de l’échantillon | 50 mm (2 pouces) |
| Taille maximale de la plaquette | 200 mm (8 pouces) |
| Reproductibilité de la hauteur de marche | <4A1σ sur un pas de 1μm |
| Portée verticale | 1mm (0.039 pouces) |
| Résolution verticale | Maximum 1A (à une portée verticale de 6,55μm) |
| Tension d’entrée | 100 - 240 VAC, 50 - 60Hz |
| Plage de température | Plage de fonctionnement de 20 à 25°C (68 à 77°F) |
| Plage d’humidité | ≤80 %, Non condensant |
| Taille et poids du système | 455 mm de largeur x 550 mm de diamètre x 370 mm de large |
| (179 pouces. Largeur x 22,6 pouces. P x 14,5 in. H); | |
| 34 kg (75 lbs); | |
| Attachement: 550 mm L x 585 mm F x 445 mm H (216 pouces. L x 23 pouces. Largeur x 175 pouces. H); | |
| 217 kg (48 lbs) |
Cas d’application
- Essais en film mince – Garantir des rendements élevés:
Dans la fabrication de semi-conducteurs, L’instrument à étapes aide à surveiller l’uniformité du dépôt et de la gravure, Contrainte de film mince, et l’épaisseur du film mince ITO. Sa grande reproductibilité garantit une mesure précise, Optimisation de la gravure et du dépôt pour de meilleurs rendements. - Inspection de la rugosité de surface – Garantir la performance:
Idéal pour évaluer la rugosité de surface des composants de précision dans des secteurs comme l’automobile, Aérospatiale, et dispositifs médicaux. Par exemple, Il mesure la rugosité des revêtements orthopédiques pour implants afin d’assurer la qualité et l’adhérence du produit. - Analyse des lignes de réseau solaire – Réduction des coûts de fabrication:
Parfait pour mesurer les dimensions des lignes conductrices de grille argentée sur des panneaux solaires. L’instrument à escalier garantit que l’utilisation de l’argent est optimisée pour une meilleure conductivité, contribuer à l’économie de coûts dans la production de panneaux solaires. - Technologie microfluidique – Détection de la conception et des performances:
Utilisé dans la technologie MEMS et microfluidique pour les essais de qualification. La fonction de mesure NLite à faible force permet une détection précise des marches verticales et de la rugosité sur les matériaux photosensibles, Assurer la précision et la performance de la conception.
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Champ d’application
Le choix privilégié dans divers secteurs.
