Profileur professionnel de surface au stylet
Un profileur de surface professionnel au stylet est un instrument de mesure de haute précision conçu pour une analyse précise de la rugosité et du profil des composants industriels. Le Professional Stylus Surface Profiler utilise un capteur diamant pour tracer les variations de micro-surface avec une résolution exceptionnelle, convertissant la texture physique de surface en données numériques précises. Le profileur de surface professionnel du stylet est idéal pour les applications nécessitant une évaluation stricte de la qualité de surface et une précision de mesure répétable dans les environnements de fabrication modernes.
- Mesure : Technologie de profilage de sonde
- Capteur de sonde : Capteur à faible inertie (LIS3)
- Pression de la sonde : Utilisation du capteur LIS3 : 1 à 15 mg
- Exemple de vue : Grossissement sélectionnable, champ de vision de 1 à 4 mm
Description du produit
Le profileur de surface professionnel du stylet intègre une technologie de mesure avancée à une plateforme stable et conviviale, offrant une caractérisation précise des surfaces pour les laboratoires modernes et les environnements de production. Il offre une excellente précision, une répétabilité fiable et un fonctionnement efficace, ce qui le rend adapté aussi bien à la recherche qu’aux applications de contrôle qualité industrielle.
Conçu pour l’analyse de surface à haute résolution, ce système permet la rugosité à l’échelle nanométrique, la hauteur de marche et la mesure de topographie 3D. Il est largement utilisé en microélectronique, semi-conducteurs, fabrication d’écrans, énergie solaire, dispositifs médicaux et recherche sur les matériaux avancés, aidant les utilisateurs à obtenir un contrôle supérieur des procédés de la R&D à l’inspection finale.
Profileur professionnel de surface au stylet – Mesure de la hauteur des pas et de la rugosité de surface au niveau nanométrique
Le Professional Stylus Surface Profiler est un système de mesure de contact haute précision conçu pour une analyse précise de la hauteur des pas, de la rugosité de la surface et de la topographie 3D. À l’aide d’un stylet diamant qui suit doucement la surface de l’échantillon, il capture de fines variations de surface avec une résolution et une stabilité exceptionnelles. Cela garantit des résultats de mesure hautement fiables et reproductibles pour des applications industrielles et laboratoires exigeantes.
Comment ça fonctionne
Le système fonctionne selon une méthode de mesure de type contact. Au fur et à mesure que le stylet se déplace sur la surface, son déplacement vertical reflète les contours de la surface. Ce mouvement est capté comme un signal électrique via un pont de mesure, générant une sortie modulée en amplitude proportionnelle au déplacement vertical. Le signal est ensuite amplifié, traité par rectification sensible à la phase, puis filtré pour éliminer le bruit et les ondulations. Cela garantit que la sortie finale est un signal propre et stable, fournissant des mesures précises de hauteur et de rugosité des pas, sans interférences externes ni ondulations.
Applications clés
- Métrologie des plaquettes semi-conductrices : Mesure et analyse précises des plaquettes de semi-conducteurs afin d’assurer une fabrication de haute qualité.
- MEMS et microstructures : Profilage précis des MEMS (systèmes micro-électromécaniques) et des microstructures pour des mesures détaillées de surface.
- Film mince et épaisseur du revêtement : Évaluation de l’épaisseur et de l’uniformité des films fins et des revêtements, essentiels pour divers procédés de fabrication.
- Profilage de surface des cellules solaires : Mesures précises de surface pour les cellules solaires, optimisant les performances et la qualité de fabrication.
- Optique de précision et dispositifs médicaux : Mesure des optiques de précision et des dispositifs médicaux afin de maintenir des standards élevés de qualité et de performance.
Caractéristiques clés
- Performance stable : Assure un fonctionnement constant grâce à une transmission rapide, un étalonnage automatique et une mesure précise.
- Conception révolutionnaire de bureau : Atteint un équilibre entre haute performance, facilité d’utilisation et rapport coût-investissement dans un environnement de laboratoire compact.
- Conception compacte et fiable : Une configuration matérielle optimisée garantit une grande précision, stabilité et efficacité aux tests.
- Matériaux supérieurs et durabilité : Fabriqué avec des matériaux de haute qualité pour garantir durabilité, longue durée de vie et performances efficaces.
Caractéristiques de l’équipement
- Performance inégalée : Reproductibilité de hauteur de pas inférieure à 4A, avec des capacités de balayage améliorées.
- Conception à arche unique : Assure une stabilité de rupture, minimise les interférences de bruit ambiant et permet une large plage verticale grâce à un balayage à faible force.
- Électronique intelligente améliorée : Réduit le bruit et améliore la précision des mesures, capable de mesurer des hauteurs de pas inférieures à 10 nm.
- Configuration matérielle optimisée : Réduit le temps d’acquisition des données de 40 %, améliorant l’efficacité de la mesure.
- Logiciel synchrone Vision64 64 bits : Accélère le traitement des données, augmentant la vitesse d’analyse des données de 10.
- Interface utilisateur intuitive : Le logiciel Vision64 propose une interface simplifiée et conviviale pour une configuration et une analyse plus faciles.
- Système d’alignement automatique des pointes : Cela simplifie les changements de sonde grâce à un assemblage auto-alignant, réduisant ainsi les risques lors de la transition.
- Large gamme de modèles de sondes : Propose différentes tailles et formes de sondes, garantissant la compatibilité avec presque toutes les applications.
- Conception à capteur unique : Fournit des mesures de faible force avec une large portée de balayage sur un seul plan.
- Tests à haut débit : Assure des tests rapides et multi-échantillons pour des mesures précises de films minces avec une répétabilité supérieure.
Paramètres techniques
| Technologie de mesure | Technologie de profilage de sonde |
| Fonction de mesure | Mesure du profil de surface 2D |
| Mesure 3D optionnelle | |
| Vue d’exemple | Grossissement sélectionnable, champ de vision de 1 à 4 mm |
| Sonde capteur | Capteur à faible inertie (LIS3) |
| Pression de la sonde | Utilisation du capteur LIS3 : 1 à 15 mg |
| Force faible (optionnel) | Utilisation du capteur N-Lite à faible force : 0,03 à 15 mg |
| Options de sonde | Plage de rayon de courbure de la sonde : 50nm à 25μm ; |
| Extrémités du rapport hauteur/diamètre (HAR) : 10μm*2μm et 200μm*20μm ; | |
| Des pourboires personnalisés sont disponibles sur demande. | |
| Exemple d’étape X/Y | Traduction manuel X-Y : 100 mm (4 pouces) |
| Traduction motorisée X-Y : 150 mm (6 pouces) | |
| Exemple de scène rotative | Manuel, rotation à 360° ; |
| Motorisé : rotation de 360° ; | |
| Système informatique | Processeur de ligne multicœur 64 bits, Windows* 7.0 ; Écran plat optionnel de 23 pouces |
| Logiciels | logiciel d’exploitation et d’analyse Vision64 ; |
| Logiciel de mesure des contraintes : déviation du porte-à-faux ; | |
| Logiciel de suture : logiciel d’imagerie à balayage 3D | |
| Dispositif d’atténuation des vibrations | Amortissement des amortisseurs disponible |
| Plage de longueur de balayage | 55 mm (2 pouces) |
| Points de données par balayage | Jusqu’à 120 000 points de données |
| Épaisseur maximale de l’échantillon | 50 mm (2 pouces) |
| Taille maximale de la plaquette | 200 mm (8 pouces) |
| Reproductibilité de la hauteur de marche | <4A1σ sur une marche de 1μm |
| Portée verticale | 1 mm (0,039 pouce) |
| Résolution verticale | Maximum 1A (à portée verticale de 6,55 μm) |
| Tension d’entrée | 100 - 240 VAC, 50 - 60 Hz |
| Plage de température | Plage de fonctionnement : 20 à 25°C (68 à 77°F) |
| Plage d’humidité | ≤80 %, non condensant |
| Taille et poids du système | 455 mm de largeur x 550 mm de diamètre x 370 mm de large |
| (179 pouces. Largeur x 22,6 pouces. P x 14,5 in. H); | |
| 34 kg (75 lbs) ; | |
| Fixation : 550 mm de largeur x 585 mm de largeur x 445 mm de haut (216 pouces. L x 23 pouces. Largeur x 175 pouces. H); | |
| 217 kg (48 lbs) |
Cas d’application
- Essais en film mince – Garantir des rendements élevés :
Dans la fabrication de semi-conducteurs, l’instrument à étapes permet de surveiller l’uniformité du dépôt et de la gravure, les contraintes des films minces et l’épaisseur des couches minces ITO. Sa grande reproductibilité garantit une mesure précise, optimisant la gravure et le dépôt pour de meilleurs rendements. - Inspection de la rugosité de surface – Assurer la performance :
Idéal pour évaluer la rugosité de surface des composants de précision dans des secteurs tels que l’automobile, l’aérospatiale et les dispositifs médicaux. Par exemple, il mesure la rugosité des revêtements orthopédiques pour garantir la qualité et l’adhérence du produit. - Analyse des lignes de réseau solaire – Réduction des coûts de fabrication :
Parfait pour mesurer les dimensions des lignes conductrices de grille argentée sur les panneaux solaires. L’instrument à pas de marche garantit que l’utilisation de l’argent est optimisée pour une meilleure conductivité, contribuant ainsi à des économies lors de la production de panneaux solaires. - Technologie microfluidique – Détection de conception et de performance :
Utilisé dans les technologies MEMS et microfluidiques pour les essais de qualification. La fonction de mesure NLite à faible force permet une détection précise des marches verticales et de la rugosité sur des matériaux photosensibles, garantissant la précision et la performance de la conception.
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Champ d’application
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